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射頻離子/原子源(可轉換)-真空組件

簡要描述:射頻離子/原子源(可轉換)-真空組件
射頻離子源:用于離子束沉積,離子束輔助沉積,MEMS
射頻原子源:用于合成氧化物,氮化物,氫原子清洗

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-02-27
  • 訪  問  量:1388

詳細介紹

品牌其他品牌應用領域電子/電池,電氣,綜合

射頻離子/原子源(可轉換)-真空組件

簡介:
射頻離子源:用于離子束沉積,離子束輔助沉積,MEMS
射頻原子源:用于合成氧化物,氮化物,氫原子清洗

射頻離子/原子源(可轉換)-真空組件

技術參數:
射頻離子源
安裝法蘭口徑:NW63CF,NW100CF
真空腔體內長度:290mm
真空腔體內端面直徑:57mm, 96mm
兼容氣體:O2, N2, H2, Ar
水冷
射頻功率:30-600W
氣體流量:8-10sccm
束流能量:0.1-1kev
電流密度:可大到5mA/cm2
射頻離子/原子源(可轉換)
射頻原子源
安裝法蘭口徑:NW35CF,NW63CF,NW100CF
真空腔體內長度:290mm
真空腔體內端面直徑:34mm,57mm, 96mm
兼容氣體:O2, N2, H2, CH4
水冷
射頻功率:30-600W
氣體流量:0.01-20sccm

主要特點:
無燈絲
安裝容易,可方便地安裝在已有系統上


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